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          卻難量產羲之,精度逼近 中國曝光機

          时间:2025-08-30 09:55:45来源:陕西 作者:正规代妈机构
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          • China Reportedly Develops Lithography Machine With Precision Rivalling ASML’s High-NA EUV,曝光 But Limited to Research Applications, Not Mass Production

          (首圖來源 :中國杭州人民政府)

          延伸閱讀 :

          • 中媒 :中國推出首款國產電子束蝕刻機「羲之」

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          浙江大學余杭量子研究院研發的難量 100kV 電子束(EBL)曝光機「羲之」,

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